《全球情報站》半導體救星！活性碳「3D纖維」化學濾網

全球半導體產業競爭持續激烈，在高階晶圓製造廠中，除了必備的精密儀器之外，「化學濾網」更是關鍵設備。因為化學濾網的功能，是過濾氣體中的「AMC氣態分子汙染物」，一旦AMC汙染物超標，將直接影響晶片的良率，進而影響晶片品質與產能。面對這項挑戰，台灣廠商運用專利技術，成功打造出特殊的化學濾網，成為維護晶圓生產環境潔淨度的守護者。更值得一提的是，這些濾網使用後，並非一次性丟棄，而是透過獨特烘烤設備，進行回收再利用，將濾網中的汙染物有效脫附，達成環保與經濟的雙重效益。