循環經濟3.0　減廢效益高容塵濾網結合除酸
MAU業界推高效節能系統迎戰先進製程
2026.01.18 12:11 工商時報 陳又嘉       循環經濟3.0　減廢效益高容塵濾網結合除酸 - 商情 - 工商時報

高容塵濾網（High Dust Holding Capacity Filter）。圖／榮宗科技提供

在先進半導體製程持續微縮、ESG永續要求同步升高的趨勢下，MAU（Make-Up Air Unit）系統對粉塵與氣態污染物（AMCs）的濾除設計，已不再只是單一設備配置議題，而是攸關能源效率、設備穩定度與長期營運成本的關鍵工程環節。隨著製程風險與設備投資金額不斷攀升，廠務系統的每一項設計選擇，都直接影響風險控管能力與永續營運成效。

長期以來，在無塵室空調箱定型化設計架構下，初級紙框濾網、中效率袋型濾網搭配高效率（HEPA）濾網已成為產業標準配置。然而，當製程需求進一步納入濾除AMCs化學濾網，對早期MAU設計形成挑戰；一方面需在有限箱體空間中重新配置濾材，另一方面也必須評估系統風量與風機靜壓是否足以支撐新增阻力。產業對化學濾網的討論，往往過度聚焦於V型或深折景設計等濾網形式，並以初始壓損高低作為主要評估指標。一般而言，V型濾網相較深折景濾網可省下約10%壓損阻力，在風機靜壓不足情況下，讓MAU還能有足夠供風能力。不過，V型濾網雖具低初始壓損優勢，成本相對較高與交期較長，對多數晶圓廠實務運作未必具備最佳整體效益。相較之下，深折景濾網在價格競爭力與供應彈性上更具優勢，而其壓損差距在實際系統中，多屬可透過整體設計吸收的範圍。

關鍵在於，當MAU系統搭配高容塵濾網使用時，上述壓損差距對系統效能的影響大幅降低。高容塵濾網可直接取代傳統紙框與袋型濾網，憑藉優異的粉塵承載能力，有效延緩壓損上升速度，顯著延長更換週期，使系統在長時間連續運轉下，仍能維持穩定風量與良好能耗表現。實務導入經驗顯示，其運轉壓損相較傳統紙框、袋濾使用，至少可降低40%以上。

榮宗科技以多年半導體廠務實務經驗為基礎，提出以「深折景除酸箱型MAU」搭配「高容塵濾網」整體系統設計思維，重新定義MAU除酸與除塵的最佳配置。在除酸端，深折景箱型結構可提供足夠濾材填充量與氣體接觸時間，確保酸性氣體被穩定吸附；在除塵端，高容塵濾網則有效降低粉塵對系統阻力影響，避免頻繁更換所衍生的人力成本與作業風險。透過兩者協同設計，MAU系統不僅在初期具備良好效能，更能在長期運轉中維持低能耗、高可靠度的狀態，減少非預期停機與維護負擔。對晶圓廠而言，此配置可同時達成節能、減廢與節省人力目標，並降低因壓損快速上升或濾網失效所帶來的潛在風險，確保製程環境的穩定性與一致性。

在部分新建或改造案中，市場上仍可見業者主張需額外導入「整流器」或「氣流修正裝置」，並將其包裝為節能或效率提升方案。由實際MAU工程設計與長期運轉數據顯示，此類裝置本身並不具備實質節能效益，亦無法從根本改善系統能耗或濾網壽命。部分市場案例中，以整流器補救設計缺陷的手段，若在濾網選型與箱體結構已正確設計的前提下，無需額外加裝整流器，僅需在風車出口面風速利用一塊孔板，讓出風撞擊孔板後造成紊流，讓風可充滿整座MAU的過濾牆面，即可讓各片濾網承受均勻的過濾風速。

箱型化學濾網安裝示意圖。圖／榮宗科技提供

從實際工程運轉與長期維護經驗角度，影響系統效能與使用壽命的關鍵，始終是「濾材本身的性能與穩定度」。加裝氣流修正裝置等作法本質上並非節能設計，而是將系統效率問題轉嫁為額外設備成本與後續維護風險，對晶圓廠的長期營運與ESG目標並無實質助益。

MAU系統的能耗關鍵點為整體壓損結構是否合理、濾材是否具備高容塵與穩定吸附能力，以及風量設計是否與實際需求匹配。從工程本質出發，能落實有效節能減廢策略應回歸MAU系統的核心設計。唯有以合理箱型結構、足夠濾材填充量與高容塵濾網組合，穩定控制壓損成長曲線，方能在確保製程安全的前提下，同時達成能耗降低、濾網壽命延長與廢棄物減量的實質成果。

近年來，ESG已成為半導體產業的顯學，MAU濾網不應再被視為單純消耗品，而應被納入整體系統效率與永續策略的一環。透過正確濾材選擇與結構搭配，企業不僅能有效降低長期營運成本，更能實質減少能源消耗與廢棄物產生，讓永續發展不再只是口號，而能真正落實於工程設計與日常營運之中。深折景除酸箱型MAU搭配高容塵濾網，正是兼顧工程效能、經濟效益與ESG永續價值的實踐方案，為新世代半導體廠務系統提供更成熟、穩定且可長期運行的選擇。